真空定位系统的精密导引挑战Linear guidance challenges in vacuum positioning systems
真空腔体内的定位系统需克服极低分压、逸气控制、磁干扰及洁净组装等严格要求，远超一般大气环境定位设备的规格。
极低分压Ultra-Low Partial Pressure
e-beam 检测与 EUV 量测设备要求系统在 10⁻⁹ mbar 分压下稳定运作。所有材料、润滑剂与缆线必须通过严格的真空相容性验证，确保不会污染光学元件或侦测器。
低逸气控制Outgassing Control
Schneeberger 将所有铝制结构件在内部加工，严格管控材料来源与制程，确保逸气率符合真空腔体要求。抽真空时间最佳化也是系统设计的关键考量之一。
磁干扰抑制Magnetic Disturbance Mitigation
e-beam 与 SEM 等设备对磁场变化极为敏感。真空定位系统采用的线性马达需要特殊屏蔽设计，避免磁场干扰电子束偏转或影响影像品质。
洁净室组装Cleanroom Assembly
真空定位系统在洁净室环境下完成组装、测试与包装，确保系统交付时不含微粒污染物。专用真空缆线与接头亦在受控环境中整合。
真空定位系统产品方案Vacuum positioning system solutions
Schneeberger 提供从多轴客制真空定位系统到标准元件真空改装版的完整方案，涵盖 10⁻⁷ 至 10⁻⁹ mbar 真空等级。
客制真空定位系统Custom Vacuum Positioning Systems
从 XY 双轴到 5 轴（含倾斜）的完整客制方案，可在 10⁻⁹ mbar 分压下运作。采用线性马达（含专用磁屏蔽）与压电驱动单元，搭配专用真空缆线。所有铝制结构件在 Schneeberger 内部加工，严格控制逸气。系统在洁净室环境下组装、测试与包装。
- 分压可达 10⁻⁹ mbar，EUV 相容
- 配置：XY / XYT / 5 轴（含倾斜）/ 龙门架构
- 驱动：线性马达（含磁屏蔽）+ 压电驱动单元
- 所有铝件内部加工，控制逸气
- 专用真空缆线与接头
- 洁净室组装、测试、包装
MINISLIDE MS 微型无摩擦平台MINISLIDE MS Micro Frictionless Table
有限行程微型无摩擦平台，官方声明适用「超高真空」环境。一体式塑胶保持架整合定心功能，哥德式拱形沟槽承载力为 90° V 沟的 15 倍，零齿隙设计。非循环式结构理论上颗粒生成低于循环式导轨。
- 适用 超高真空（官方声明）
- 轨宽 4 mm / 5 mm，系统长度 10–40 mm
- 速度 ≤ 1 m/s，加速度 ≤ 50 m/s²
- 哥德式拱形沟槽，承载力 15 倍
- 零齿隙，耐腐蚀硬化钢
- 操作温度 -40°C 至 +80°C
MINIRAIL 真空改装版MINIRAIL Vacuum-Modified Version
MINIRAIL 标准版真空相容性达 10⁻⁷ mbar。PEEK 改装版可进一步达到 10⁻⁹ mbar，需移除擦片、更换通气螺钉，并采用洁净室包装。适用于真空腔体外部或周边设备的长行程定位需求。
- 标准版：10⁻⁷ mbar
- PEEK 改装版：10⁻⁹ mbar（需移除擦片、通气螺钉、洁净室包装）
- 速度 ≤ 5 m/s，加速度 ≤ 300 m/s²
- 选配 Cage Assist 辅助钢球运行稳定性
- 滑车完全互换
- LUBE-S 版本不适用真空与洁净室
注意：MINIRAIL 为循环式直线导轨元件，适用于真空系统的周边长行程定位需求。EUV/e-beam 腔体内的多轴定位需使用上方的客制真空定位系统。
真空定位系统的实际应用场景Real-world vacuum positioning system applications
Schneeberger 官方记录了 7 套真空定位系统，涵盖 e-beam 检测、EUV 量测、SEM 等应用。以下为代表性案例与完整系统清单。
