超高精度定位系統

超高精度定位系統

客製化方案,一站式整合交付

從規格定義、模擬驗證到整合測試 · 線性軸、龍門、XY 平台、花崗岩底座一站式整合

3 廠
瑞士 / 美國 / 中國
全球量產基地
100%
完全針對需求
量身定制
40+ 年
SEMI 業界
合作經驗
ISO 4–6
模組化無塵室
標準 ISO 6 · 最高 ISO 4
核心能力

從技術領先到營運卓越

Schneeberger 在設計、工程、製造、組裝測試四個面向皆具備完整能力,可從零打造客戶獨有的定位系統。

設計:FEA 模擬與結構優化
01 · 設計

客製化設計

每位客戶的需求皆獨一無二,無標準型錄。系統依據客戶的技術規格逐案從零設計。

工程:研發與精度量測
02 · 工程

工程與研發

持續投入研發以維持市場領先。橫跨雷射加工、3D 列印、平面顯示器、生命科學等領域的精密運動技術。

製造:全球三廠量產基地
03 · 製造

全球量產製造

在瑞士 Roggwil、美國 Woburn、中國深圳三大基地生產。Roggwil 新無塵室擴增量產與潔淨組裝能量。

組裝測試:無塵室與精密量測
04 · 組裝與測試

完整解決方案組裝

交付完整運動平台,含控制器、防震系統、真空腔體或單軸模組。技術領先結合營運卓越,兼顧成本與可靠度。

卓越驅動

Schneeberger 客製化定位系統的 40 年

為高端產業獨特需求所打造的客製化精密運動方案。

創立於 1923 年,Schneeberger 長久以來引領精密運動技術,是客製化系統的業界標竿。

自 1923 年創立以來,Schneeberger 始終是精密運動技術的領先者,為客製化系統建立業界標竿。1984 年成立 Systems 事業單位後,從瑞士 Roggwil 起步,陸續拓展美國麻州 Bedford → Woburn、2021 年中國深圳,三廠共同投入客製化系統的開發與量產

1923

創立

Schneeberger 成立,奠定精密運動技術領導地位

1984

Systems 事業單位

瑞士 Roggwil 首座工廠啟用,正式進入客製化定位系統領域

美國

Bedford → Woburn

美國麻州第二廠區,後遷至 Woburn 擴大規模

2021

深圳廠

中國深圳第三廠落成,鞏固亞洲在地交付能量

未來

Roggwil 第三廠

無塵室面積擴增 3 倍,產線最佳化以應對全球需求成長

A Legacy of Customization: 1984 and Beyond — close-up of red-dot encoder ruler
從零打造 · 1984

從零打造的客製化傳統

1984 年起 Systems 事業單位成立,從無標準型錄、無標準產品的原則出發。每一套系統皆依客戶獨特技術規格從零設計與製造,可交付完整運動平台(含控制器、AVI 主動防震、真空腔體),或單一 stage 模組。

Not Just Engineering: Focus on Serial Production — cleanroom assembly with gloved hands
不只工程

客製化方案的量產專家

Schneeberger 並非傳統工程顧問公司,而是客製化方案的量產專家。從前期諮詢到完整量產,兼顧技術領先營運卓越,確保系統在最高效能下仍兼具成本效益與可靠度。

Innovative Solutions for Diverse Sectors — semiconductor pick-and-place heads on PCB
多元產業

服務多元高階產業

超過 40 年的精密運動經驗,廣泛服務雷射加工、3D 列印、平面顯示器、生命與材料科學等高階產業。每一個領域皆需嚴苛的精度、可靠度與性能標準,以滿足客戶在最前沿應用上的需求。

The Future: A New Era of Expansion and Growth — aerial view of Roggwil Plant 3, Switzerland
未來 · Roggwil 第三廠

擴張與先進封裝新時代

瑞士 Roggwil 新廠(Plant 3)專為 Systems 事業單位打造,無塵室面積擴增 3 倍、產線最佳化以提升量產能量。隨著微縮化、互連密度提升、效能需求增加Advanced Packaging 已成近年重點。

Long-Term Partnerships for Sustained Success — focused engineer in cleanroom
長期夥伴

長期戰略夥伴關係

建立在長期戰略夥伴關係之上的成功——客戶倚賴 Schneeberger 的精度與創新;Schneeberger 也持續為每位客戶提供量身打造的最佳方案。雙向信任驅動產業持續前進。

客製化應用

為您的特定挑戰量身打造

涵蓋六大高階產業,每一案皆從規格定義、概念設計、模擬驗證到製造、組裝測試一站式整合。

Moving gantry including 4 independent heads for AOI
移動式龍門 · 4 顆獨立 AOI 檢測頭
Colour-filter printing on FPD Gen 8 size
彩色濾光片印刷 · FPD Gen 8
Moving substrate AOI Gen 4-Gen 8 size
移動式基板 AOI · Gen 4–8
FPD positioning platform
FPD 檢測平台
FPD positioning platform
FPD 檢測平台
平面顯示器(FPD)

客製化平面顯示器解決方案

針對需求嚴苛的 FPD 產業,Schneeberger 解決方案涵蓋從 AOI(自動光學檢測)、Array Tester 到 Photospacer 量測等整段製程。全球已安裝超過 800 套系統,部分系統直接於亞洲廠製造與組裝。透過客製化方案,確保每套系統皆符合特定客戶需求。

為了降低 TCO,Schneeberger 創新地以自家 Mineralcast 礦物鑄件取代花崗岩底座。Mineralcast 的高阻尼特性可依個別應用調整,降低系統重量、減少搬運與運輸成本

  • 移動式龍門 + 4 顆 AOI 檢測頭,同步進行平行掃描
  • Gen 8 彩色濾光片印刷平台,適用於大尺寸面板印製
  • Gen 4–8 移動式基板 AOI 平台,可依面板世代彈性調整
XY Open frame mask inspection & repair
XY 開放式框架 · 光罩檢測與修補
XYT Wafer inspection & metrology (AOI)
XYT · 晶圓檢測與量測 (AOI)
XYT Wafer inspection & metrology (AOI)
XYT · 晶圓檢測與量測 (AOI)
XYT Wafer inspection & metrology (AOI)
XYT · 晶圓檢測與量測 (AOI)
Fully integrated XYT + Z system incl. controller & active isolation system
XYT + Z 全整合 · 含控制器與 AVI 主動防震
Integrated XYZT wafer inspection system including active isolation system
XYZT 整合式晶圓檢測 · 含 AVI
半導體

半導體前段 / 後段解決方案

無論需求來自前段製程或後段製程,Schneeberger 都能為高難度的挑戰提供量身打造的方案。Stages 短開發期與量產 ramp-up 等特殊需求,由與 SEMI 業界最大客戶合作 近 40 年的團隊精準掌握。

奈米級穩定度毫秒級的 Move & Settle 響應是我們的專業領域,被轉化為全整合的運動方案。

  • 開放式 XY 框架平台,用於光罩檢測與修補
  • XYT 晶圓 AOI 檢測與量測平台
  • 電子束晶圓真空檢測平台(型錄實機案例)
Large printing single axis incl. Z-axis
大型印刷單軸 · 含 Z 軸
3 dimensional printing engine for large substrates
三維列印引擎 · 大尺寸基板
印刷技術

大尺寸印刷與 3D 列印平台

最高精度卓越的幾何性能集中在單一線性軸」是完美列印的關鍵。Schneeberger Systems 在超大行程上提供集中的高效能能力,並可在主軸上整合輔助 Z 軸與 T 軸,作為印刷設備的整合式運動底座。

這套構造 know-how 進一步延伸到三維(3D)系統解決方案,為三維需求提供最佳化配置。

  • 整合 Z 軸的大型印刷單軸平台
  • 大尺寸基板用三維列印引擎
  • FPD 噴墨像素印刷平台(型錄實機案例)
Solar panel positioning platform
太陽能基板與製程頭定位平台
太陽能

太陽能板效率提升平台

透過 Schneeberger 超高精度運動平台協助客戶提升太陽能板效率,重點放在「最小化結點(junctions)與死區(dead-areas)、最大化整體效能」。

不論薄膜(thin film)結晶矽(crystalline)技術,都能提供基板(substrate)與製程頭(process head)在最高精度下的移動方案。

  • 薄膜技術 — 大行程基板移動 + 高精度製程頭定位
  • 結晶矽技術 — 高重複定位精度的晶圓檢測與串焊平台
  • 跨產業 — 半導體、醫療工程、太陽能技術皆需「高精度 + 高純淨度」的同時保障
5 axes (incl. tilt) systems for E-beam inspection
5 軸(含傾斜)· 電子束檢測平台
XY system for lithography & metrology (EUV)
XY · EUV 微影與量測平台
Wedged designed Z-axis for E-beam application
楔形 Z 軸 · 電子束應用
XYT Metrology and inspection with E-beam
XYT · 電子束量測與檢測
XY system with fixed motors (outside of the vacuum chamber)
XY · 馬達固定於真空腔體外
Vacuum positioning platform
真空定位平台
Y (gantry) X stage for lithography tool
Y 龍門 + X 載台 · 微影設備
SEM XYT motion platform
SEM 電子顯微鏡 · XYT 運動平台
真空技術

EUV / 真空運動解決方案

EUV、逸氣(outgassing)、熱、抽氣時間、穩定性與磁干擾都是真空系統設計的關鍵考量。Schneeberger 系統可在分壓低至 10⁻⁹ mbar 環境下運作,整合具有專用屏蔽的線性馬達、壓電驅動單元與專用線纜

所有相關鋁合金加工件均內製生產,以完美控制潔淨度與逸氣量。所有真空 stage 皆於專屬無塵室進行組裝、測試與包裝,配合客戶量產節奏。

  • 含傾斜的 5 軸電子束檢測平台
  • EUV 微影與量測 XY 平台
  • 楔形 Z 軸設計,專為電子束應用設計
SCHNEEBERGER Advanced Packaging System
先進封裝定位系統
Sub-micron motion accuracy
次微米運動精度
Cleanroom-compatible platform
無塵室相容平台
Advanced Packaging motion system
異質整合平台
先進封裝

先進封裝定位系統

Schneeberger 高精度定位系統專為先進半導體封裝而設計,包含 die-to-wafer hybrid bonding。系統運作於無塵室環境中,提供次微米精度長期穩定度無縫自動化整合。從 AI 加速器、HPC(高效能運算)到 5G 晶片組皆適用。

系統具備多元製程能力(依規格與應用打造)、超精密整合(次微米運動精度,為異質整合而生)、彈性產線方案(模組化擴充)、先進製程控制(全自動運動,提升良率、降低人為失誤)。

  • 半導體異質整合,提供不可或缺的次微米精度
  • 晶粒對晶圓混合鍵合(Die-to-Wafer Hybrid Bonding),無塵室相容
  • Chiplet 對位 / 晶粒放置,全自動運動提升良率

Schneeberger Systems 的應用領域極為廣泛。我們的工程師擁有跨產業的深厚技術知識,能快速理解並回應客戶在不同領域中提出的問題,包括全新的應用場景。

半導體 平面顯示器 太陽能光伏 電子製造 光學 印刷 雷射加工 牙科與醫療

客製化定位系統,從規格定義到整機交付

Schneeberger 與基準精密提供從前期諮詢、概念設計、模擬驗證到整機組裝測試的全流程支援。歡迎與我們的工程團隊聯繫,討論您的定位系統需求。

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