超高精度定位系统

超高精度定位系统

客制化方案,一站式整合交付

从规格定义、模拟验证到整合测试 · 线性轴、龙门、XY 平台、花岗岩底座一站式整合

3 厂
瑞士 / 美国 / 中国
全球量产基地
100%
完全针对需求
量身定制
40+ 年
SEMI 业界
合作经验
ISO 4–6
模组化洁净室
标准 ISO 6 · 最高 ISO 4
核心能力

从技术领先到营运卓越

Schneeberger 在设计、工程、制造、组装测试四个面向皆具备完整能力,可从零打造客户独有的定位系统。

设计:FEA 模拟与结构优化
01 · 设计

客制化设计

每位客户的需求皆独一无二,无标准型录。系统依据客户的技术规格逐案从零设计。

工程:研发与精度量测
02 · 工程

工程与研发

持续投入研发以维持市场领先。横跨雷射加工、3D 列印、平面显示器、生命科学等领域的精密运动技术。

制造:全球三厂量产基地
03 · 制造

全球量产制造

在瑞士 Roggwil、美国 Woburn、中国深圳三大基地生产。Roggwil 新洁净室扩增量产与洁净组装能量。

组装测试:洁净室与精密量测
04 · 组装与测试

完整解决方案组装

交付完整运动平台,含控制器、防震系统、真空腔体或单轴模组。技术领先结合营运卓越,兼顾成本与可靠度。

卓越驱动

Schneeberger 客制化定位系统的 40 年

为高端产业独特需求所打造的客制化精密运动方案。

创立于 1923 年,Schneeberger 长久以来引领精密运动技术,是客制化系统的业界标竿。

自 1923 年创立以来,Schneeberger 始终是精密运动技术的领先者,为客制化系统建立业界标竿。1984 年成立 Systems 事业单位后,从瑞士 Roggwil 起步,陆续拓展美国麻州 Bedford → Woburn、2021 年中国深圳,三厂共同投入客制化系统的开发与量产

1923

创立

Schneeberger 成立,奠定精密运动技术领导地位

1984

Systems 事业单位

瑞士 Roggwil 首座工厂启用,正式进入客制化定位系统领域

美国

Bedford → Woburn

美国麻州第二厂区,后迁至 Woburn 扩大规模

2021

深圳厂

中国深圳第三厂落成,巩固亚洲在地交付能量

未来

Roggwil 第三厂

洁净室面积扩增 3 倍,产线最佳化以应对全球需求成长

A Legacy of Customization: 1984 and Beyond — close-up of red-dot encoder ruler
从零打造 · 1984

从零打造的客制化传统

1984 年起 Systems 事业单位成立,从无标准型录、无标准产品的原则出发。每一套系统皆依客户独特技术规格从零设计与制造,可交付完整运动平台(含控制器、AVI 主动防震、真空腔体),或单一 stage 模组。

Not Just Engineering: Focus on Serial Production — cleanroom assembly with gloved hands
不只工程

客制化方案的量产专家

Schneeberger 并非传统工程顾问公司,而是客制化方案的量产专家。从前期咨询到完整量产,兼顾技术领先营运卓越,确保系统在最高效能下仍兼具成本效益与可靠度。

Innovative Solutions for Diverse Sectors — semiconductor pick-and-place heads on PCB
多元产业

服务多元高阶产业

超过 40 年的精密运动经验,广泛服务雷射加工、3D 列印、平面显示器、生命与材料科学等高阶产业。每一个领域皆需严苛的精度、可靠度与性能标准,以满足客户在最前沿应用上的需求。

The Future: A New Era of Expansion and Growth — aerial view of Roggwil Plant 3, Switzerland
未来 · Roggwil 第三厂

扩张与先进封装新时代

瑞士 Roggwil 新厂(Plant 3)专为 Systems 事业单位打造,洁净室面积扩增 3 倍、产线最佳化以提升量产能量。随著微缩化、互连密度提升、效能需求增加Advanced Packaging 已成近年重点。

Long-Term Partnerships for Sustained Success — focused engineer in cleanroom
长期伙伴

长期战略伙伴关系

建立在长期战略伙伴关系之上的成功——客户倚赖 Schneeberger 的精度与创新;Schneeberger 也持续为每位客户提供量身打造的最佳方案。双向信任驱动产业持续前进。

客制化应用

为您的特定挑战量身打造

涵盖六大高阶产业,每一案皆从规格定义、概念设计、模拟验证到制造、组装测试一站式整合。

Moving gantry including 4 independent heads for AOI
移动式龙门 · 4 颗独立 AOI 检测头
Colour-filter printing on FPD Gen 8 size
彩色滤光片印刷 · FPD Gen 8
Moving substrate AOI Gen 4-Gen 8 size
移动式基板 AOI · Gen 4–8
FPD positioning platform
FPD 检测平台
FPD positioning platform
FPD 检测平台
平面显示器(FPD)

客制化平面显示器解决方案

针对需求严苛的 FPD 产业,Schneeberger 解决方案涵盖从 AOI(自动光学检测)、Array Tester 到 Photospacer 量测等整段制程。全球已安装超过 800 套系统,部分系统直接于亚洲厂制造与组装。透过客制化方案,确保每套系统皆符合特定客户需求。

为了降低 TCO,Schneeberger 创新地以自家 Mineralcast 矿物铸件取代花岗岩底座。Mineralcast 的高阻尼特性可依个别应用调整,降低系统重量、减少搬运与运输成本

  • 移动式龙门 + 4 颗 AOI 检测头,同步进行平行扫描
  • Gen 8 彩色滤光片印刷平台,适用于大尺寸面板印制
  • Gen 4–8 移动式基板 AOI 平台,可依面板世代弹性调整
XY Open frame mask inspection & repair
XY 开放式框架 · 光罩检测与修补
XYT Wafer inspection & metrology (AOI)
XYT · 晶圆检测与量测 (AOI)
XYT Wafer inspection & metrology (AOI)
XYT · 晶圆检测与量测 (AOI)
XYT Wafer inspection & metrology (AOI)
XYT · 晶圆检测与量测 (AOI)
Fully integrated XYT + Z system incl. controller & active isolation system
XYT + Z 全整合 · 含控制器与 AVI 主动防震
Integrated XYZT wafer inspection system including active isolation system
XYZT 整合式晶圆检测 · 含 AVI
半导体

半导体前段 / 后段解决方案

无论需求来自前段制程或后段制程,Schneeberger 都能为高难度的挑战提供量身打造的方案。Stages 短开发期与量产 ramp-up 等特殊需求,由与 SEMI 业界最大客户合作 近 40 年的团队精准掌握。

奈米级稳定度毫秒级的 Move & Settle 响应是我们的专业领域,被转化为全整合的运动方案。

  • 开放式 XY 框架平台,用于光罩检测与修补
  • XYT 晶圆 AOI 检测与量测平台
  • 电子束晶圆真空检测平台(型录实机案例)
Large printing single axis incl. Z-axis
大型印刷单轴 · 含 Z 轴
3 dimensional printing engine for large substrates
三维列印引擎 · 大尺寸基板
印刷技术

大尺寸印刷与 3D 列印平台

最高精度卓越的几何性能集中在单一线性轴」是完美列印的关键。Schneeberger Systems 在超大行程上提供集中的高效能能力,并可在主轴上整合辅助 Z 轴与 T 轴,作为印刷设备的整合式运动底座。

这套构造 know-how 进一步延伸到三维(3D)系统解决方案,为三维需求提供最佳化配置。

  • 整合 Z 轴的大型印刷单轴平台
  • 大尺寸基板用三维列印引擎
  • FPD 喷墨像素印刷平台(型录实机案例)
Solar panel positioning platform
太阳能基板与制程头定位平台
太阳能

太阳能板效率提升平台

透过 Schneeberger 超高精度运动平台协助客户提升太阳能板效率,重点放在「最小化结点(junctions)与死区(dead-areas)、最大化整体效能」。

不论薄膜(thin film)结晶矽(crystalline)技术,都能提供基板(substrate)与制程头(process head)在最高精度下的移动方案。

  • 薄膜技术 — 大行程基板移动 + 高精度制程头定位
  • 结晶矽技术 — 高重复定位精度的晶圆检测与串焊平台
  • 跨产业 — 半导体、医疗工程、太阳能技术皆需「高精度 + 高纯净度」的同时保障
5 axes (incl. tilt) systems for E-beam inspection
5 轴(含倾斜)· 电子束检测平台
XY system for lithography & metrology (EUV)
XY · EUV 微影与量测平台
Wedged designed Z-axis for E-beam application
楔形 Z 轴 · 电子束应用
XYT Metrology and inspection with E-beam
XYT · 电子束量测与检测
XY system with fixed motors (outside of the vacuum chamber)
XY · 马达固定于真空腔体外
Vacuum positioning platform
真空定位平台
Y (gantry) X stage for lithography tool
Y 龙门 + X 载台 · 微影设备
SEM XYT motion platform
SEM 电子显微镜 · XYT 运动平台
真空技术

EUV / 真空运动解决方案

EUV、逸气(outgassing)、热、抽气时间、稳定性与磁干扰都是真空系统设计的关键考量。Schneeberger 系统可在分压低至 10⁻⁹ mbar 环境下运作,整合具有专用屏蔽的线性马达、压电驱动单元与专用线缆

所有相关铝合金加工件均内制生产,以完美控制洁净度与逸气量。所有真空 stage 皆于专属洁净室进行组装、测试与包装,配合客户量产节奏。

  • 含倾斜的 5 轴电子束检测平台
  • EUV 微影与量测 XY 平台
  • 楔形 Z 轴设计,专为电子束应用设计
SCHNEEBERGER Advanced Packaging System
先进封装定位系统
Sub-micron motion accuracy
次微米运动精度
Cleanroom-compatible platform
洁净室相容平台
Advanced Packaging motion system
异质整合平台
先进封装

先进封装定位系统

Schneeberger 高精度定位系统专为先进半导体封装而设计,包含 die-to-wafer hybrid bonding。系统运作于洁净室环境中,提供次微米精度长期稳定度无缝自动化整合。从 AI 加速器、HPC(高效能运算)到 5G 晶片组皆适用。

系统具备多元制程能力(依规格与应用打造)、超精密整合(次微米运动精度,为异质整合而生)、弹性产线方案(模组化扩充)、先进制程控制(全自动运动,提升良率、降低人为失误)。

  • 半导体异质整合,提供不可或缺的次微米精度
  • 晶粒对晶圆混合键合(Die-to-Wafer Hybrid Bonding),洁净室相容
  • Chiplet 对位 / 晶粒放置,全自动运动提升良率

Schneeberger Systems 的应用领域极为广泛。我们的工程师拥有跨产业的深厚技术知识,能快速理解并回应客户在不同领域中提出的问题,包括全新的应用场景。

半导体 平面显示器 太阳能光伏 电子制造 光学 印刷 雷射加工 牙科与医疗

客制化定位系统,从规格定义到整机交付

Schneeberger 与基准精密提供从前期咨询、概念设计、模拟验证到整机组装测试的全流程支援。欢迎与我们的工程团队联系,讨论您的定位系统需求。

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