半导体检测与量测设备的定位挑战Positioning challenges in semiconductor inspection & metrology equipment
光罩检测、晶圆 AOI 与量测设备对定位系统的稳定性、速度与整合度要求极为严苛，需要专业的客制定位方案。
奈米稳定性Nanometre Stability
光罩检测与晶圆量测需要亚奈米级的位置稳定性。Schneeberger 官方声明：「The world of nanometres stability ... is our world.」这是客制定位系统的核心能力，非标准直线导轨元件可达成。
毫秒级移动定位Millisecond Move & Settle
高产出半导体设备要求快速移动和定位（ms move-and-settle），以维持每小时晶圆处理量。Schneeberger 客制系统针对此需求最佳化移动路径与控制参数，实现高速与高稳定性的平衡。
多轴整合Multi-Axis Integration
检测与量测设备通常需要 XY、XYT 甚至 XYZT 多轴联动。Schneeberger 提供从平台机构到控制器与主动隔振的整合式系统方案，减少客户端的系统整合工作。
洁净室组装Cleanroom Assembly
半导体级定位系统需在洁净室环境下组装、测试与包装，确保交付至客户端时符合洁净度要求。Schneeberger 具备完整的洁净室制造与品管流程。
检测与量测定位系统产品方案Positioning solutions for semiconductor inspection & metrology
从完整客制定位系统到标准精密导轨元件，Schneeberger 提供多层次的产品方案满足不同整合需求。
Precision Positioning SystemsCustom Semiconductor Positioning Systems
Schneeberger Precision Positioning Systems 部门提供从 XY 到 XYZT 的完整客制方案，约 40 年 SEMI 产业经验，奈米稳定性与毫秒级定位时间，支援 450mm 晶圆。系统涵盖平台机构、控制器与主动隔振整合，在洁净室环境完成组装与测试。
- 奈米稳定性，毫秒级移动定位（ms move-and-settle）
- XY / XYT / XYZT 多轴客制配置
- 支援 450mm 晶圆处理
- 控制器与主动隔振可整合于系统
- 洁净室组装、测试与包装
- 快速开发周期，迅速量产爬坡
交叉滚子导轨Cross-Roller Guideway Type R / RN
交叉滚子导轨用于有限行程精密 stage 设计。Type R 为全球第一款标准化无摩擦导轨，标准尺寸 1-12，长度 20-1500mm。Type RN 与 Type R 尺寸互换，承载力提升 3 倍，可选配 FORMULA-S Cage Control 防止保持架漂移。
- Type R：标准尺寸 1-12，长度 20-1500 mm
- Type RN：承载力 3 倍，可直接替换 Type R
- RN 可选配 Cage Control (FORMULA-S)
- FORMULA-S 规格：300 m/s², 1 m/s, 真空 10⁻⁷ mbar
- 操作温度 -40°C 至 +80°C
- 可同时承受轴向与径向力
循环式微型导轨 + 整合量测MINIRAIL with Integrated Measuring System
循环式微型导轨用于设备框架与搬送轴等长行程应用。MINISCALE PLUS 将量测光学尺整合于 MINIRAIL 导轨内（分辨率 0.1 um），提供闭环控制所需位置回授讯号，简化系统设计并缩短安装空间。
- MINIRAIL：速度 ≤ 5 m/s，加速度 ≤ 300 m/s²
- MINISCALE PLUS 量测分辨率 0.1 um
- 真空相容 10⁻⁷ mbar（PEEK 改装可达 10⁻⁹ mbar）
- MINISCALE PLUS 洁净室 ISO 6-7 (ISO 14644-1)
- 消除各轴独立预紧调整，一致预紧值
- 滑车完全互换，方便现场维护
Schneeberger 半导体检测与量测客制系统Real Schneeberger custom positioning systems for semiconductor inspection
以下为 Schneeberger 官方公开的半导体检测与量测客制定位系统，均为实际交付的产品系统照片。
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