应用指引 | Application Guide
精密线性导引
产业应用总览
Schneeberger Precision Linear Guidance — Industry Application Guide
Schneeberger 提供从微型循环式钢球导轨（MINIRAIL）、交叉滚子导轨（Type R / RN / RNG）、滚针保持架导轨（Type N/O）到微型无摩擦平台（MINISLIDE MS / MSQ）的完整精密线性导引产品组合，搭配 MINISCALE PLUS 和 MSQscale 整合量测系统，服务半导体、医疗、光学、量测等高精度产业。
产业应用 | Industry Applications
依产业浏览应用案例Browse applications by industry
每个产业页面均以 Schneeberger 官方应用案例为主体，搭配业界同类产品的应用场景作为补充。
医疗技术
Medical Technology
手术机器人、诊断设备、牙科铣削/扫描、液体处理、切片机、显微镜。Schneeberger 医疗技术事业部提供 10 个以上应用领域的完整方案。
MINIRAIL Type RNG MINISLIDE MS
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半导体检测与量测
Semiconductor Inspection & Metrology
光罩检测修复、晶圆 AOI、XYZT 全整合量测平台。约 40 年 SEMI 产业经验，奈米稳定性与 ms 定位时间。
客制定位系统 Type R / RN MINIRAIL
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真空定位系统
Vacuum Positioning Systems
10⁻⁹ mbar 分压下运作，E-beam 检测、EUV 量测、SEM 定位。所有铝件内部加工控制逸气，洁净室组装。
客制真空系统 MINISLIDE MS MINIRAIL PEEK
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后段组装与电子制造
Back-End Assembly & Electronics
Die bonding、wire bonding、SMT 贴片、PCB 检测。MINIRAIL 一致预紧降低组装工时，MINISLIDE MSQ 高刚度短行程定位。
MINIRAIL MINISLIDE MSQ Type RN
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量测仪器
Metrology Instruments
CMM、雷射干涉仪、表面粗糙度仪、光学量测平台。官方案例：雷射干涉仪制造商选用 MINIRAIL。交叉滚子导轨极低波动特性。
Type R / RN MINIRAIL Type N/O
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光学与光电
Optics & Photonics
光学扫描平台、雷射加工、光纤-PIC 对准、镜片定位。交叉滚子导轨用于精密对准，MSQ 用于高速雷射偏转。
Type R / RN MINISLIDE MSQ MINIRAIL
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实验室自动化与生命科学
Lab Automation & Life Sciences
液体处理、DNA 定序、生化分析仪、显微镜。MSQscale 一体化导引量测系统适合空间受限的实验室仪器。
MSQscale MINIRAIL MINISLIDE MS
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平面显示器
Flat Panel Display
800+ 系统全球装机实绩。从 Gen 4 到 Gen 12，4 头龙门 AOI、彩色滤光印刷、基板 AOI、光间隔干涉量测。
客制 FPD 系统 MONORAIL
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先进封装
Advanced Packaging
Zircon 系统用于 die-to-wafer 混合键合，服务 AI 加速器、HPC、5G chiplet。亚微米精度，全自动整合。
Zircon 客制系统 Type RN
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增材制造
Additive Manufacturing
官方案例：MINISLIDE MSQ 用于雷射偏转装置，服务航太、汽车、医疗、工具制造。3D 列印设备线性轴。
MINISLIDE MSQ MINIRAIL
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产品组合 | Product Portfolio
精密线性导引产品系列Precision Linear Guidance Product Families
客制系统
精密定位系统
Custom Positioning Systems
从 XY 到 5 轴（含倾斜），真空 10⁻⁹ mbar，奈米稳定性，ms 定位时间。约 40 年半导体产业经验，800+ FPD 系统装机实绩。
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