产业需求 | Requirements
量测与检测的驱动挑战Drive challenges in metrology & inspection
量测平台与检测轴对运动平稳度、定位稳定性与整合度有极高要求。
极平稳无振动运动Ultra-Smooth, Vibration-Free Motion
无齿槽・无涟波
量测与检测对振动极为敏感。UPLplus 无铁芯直线电机无齿槽力与涟波力；RMK/RMF 无槽铁芯马达吸引力低、运动极为均匀，确保扫描与量测过程平顺。
高定位精度与重复性Positioning Accuracy & Repeatability
零齿隙・直接驱动
直驱消除传动间隙与迟滞，定位精度直接取决于量测系统。整合式量测的子系统提供闭环位置回授，达成高重复性的量测定位。
即用型旋转测试台Ready-to-Use Testing Tables
RDDS：testing tables（metrology）
旋转量测与测试需要整合马达、轴承、量测与冷却的即用模组。RDDS 旋转直驱子系统官方应用即包含测试台（testing tables），服务量测（metrology）产业。
紧凑整合与免维护Compact Integration & Maintenance-Free
无接触・无磨损
量测仪器空间受限且要求长期稳定。直驱无接触磨损、免维护；UPLplus 紧凑轻量、Z 轴致动器整合量测系统，利于量测仪器的小型化与长期一致性。
Schaeffler 解决方案 | Solutions
量测与检测直驱方案Direct drive solutions for metrology & inspection
线性马达作扫描轴、RDDS 子系统作旋转测试台、RMK/RMF 作极均匀旋转、Z 轴作检测升降轴。
无铁芯直线电机Ironless Linear Motor
无齿槽、无涟波力的无铁芯直线电机，运动极平稳，官网明列应用于量测与检测机械。力质比 +42%、移动质量小，适合 AOI 与光学量测平台的高动态扫描轴。
- 峰值力 100 – 1,300 N，速度达 30.4 m/s
- 无齿槽（无铁芯设计），运动极平稳
- 官网应用：量测与检测机械、气浮轴
RDDS 旋转直驱子系统Rotary Direct Drive Systems
整合扭矩马达、精密轴承、量测与冷却的即用型旋转模组，官方应用明列测试台（testing tables），服务量测（metrology）产业。无间隙、高刚度、运转平稳，作为旋转量测台与测试转台的即装即用方案。
- RDDS1 Ø130 – 230 mm、RDDS2 Ø240 – 565 mm
- 整合马达 + 轴承 + 量测 + 冷却
- 无间隙、高刚度、运转平稳
- 官方应用：测试台、metrology 产业
无槽铁芯扭矩马达Slotless Torque Motor
无槽铁芯永磁 AC 同步马达，吸引力低、运动极为均匀、最佳同步，适合运动方向几乎无外力的高精度旋转量测。设计与直径弹性高，可采扁平或同轴配置整合进量测机构。
- 直径 70 – 2,500 mm，扭矩 2 – 15,000 Nm
- 无齿槽，运动极为均匀、最佳同步
- 扁平式或同轴式设计，用于高精度应用
应用案例 | Application Cases
量测与检测的典型应用场景Typical applications in metrology & inspection
晶圆 AOI 检测、光学扫描与多层量测/钻孔皆以直驱多轴平台达成；无铁芯直线电机提供无齿槽、恒定扫描速度的平稳运动，直驱旋转轴提供高精度对位，确保量测影像品质与重复性。
XYT 晶圆检测 | XYT Wafer AOI
XYT 晶圆 AOI 检测与量测平台
Schneeberger 客制 XYT 晶圆 AOI 检测与量测平台以 X/Y 线性轴搭配旋转 T 轴构成，达奈米级稳定度与毫秒级 Move & Settle 响应，适用晶圆自动光学检测、光学扫描与量测。无铁芯直线电机（UPLplus）驱动 AOI 扫描轴，无齿槽、无涟波避免量测的周期性误差；直驱旋转轴（RMK/RMF）提供晶圆对位，恒定扫描速度确保影像品质。
光学扫描 | Optical Scanning
光学扫描精密定位平台
光学扫描检测需要精密的 X/Y 与旋转定位，并维持恒定扫描速度以避免影像失真。IDAM 客制多轴系统以直驱技术构成精密 X/Y 平台与旋转轴，无齿槽、无涟波的平稳运动确保光学扫描的影像品质与重复性。（图：IDAM 光学扫描精密 X/Y 平台）
多层量测 / 钻孔 | Measuring & Drilling
全自动多层量测与钻孔系统
PCB 多层板的全自动量测与钻孔需要高动态、高精度的 X/Y 龙门轴与快速定位。IDAM 客制多轴系统以直驱线性马达驱动龙门与进给轴，达成高加速、零齿隙与微米级重复定位，提升量测与钻孔的产能与精度。（图：IDAM 全自动多层量测与钻孔系统）
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