6.4 真空

在真空環境中,優先使用耐腐蝕導軌。還需要避免塑膠的放氣現象,確保固定孔的通風,並使用適當的潤滑劑。

根據要求,SCHNEEBERGER 可以提供在無塵室中包裝並根據要求潤滑的導軌。

標準 MINI-X 產品的真空範圍:

MINIRAIL
MINISCALE PLUS
MINISLIDE MS
MINISLIDE MSQ
10⁻⁷ mbar (HV)。10⁻⁹ mbar (UHV) 可根據要求提供。數值適用於無刮刷器的情況
可詢問
10⁻⁷ mbar (HV)
10⁻⁹ mbar (UHV)

注意:真空適用性取決於所使用的材料。

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