6.4 真空
在真空環境中,優先使用耐腐蝕導軌。還需要避免塑膠的放氣現象,確保固定孔的通風,並使用適當的潤滑劑。
根據要求,SCHNEEBERGER 可以提供在無塵室中包裝並根據要求潤滑的導軌。
標準 MINI-X 產品的真空範圍:
| MINIRAIL |
|---|
| MINISCALE PLUS |
| MINISLIDE MS |
| MINISLIDE MSQ |
| 10⁻⁷ mbar (HV)。10⁻⁹ mbar (UHV) 可根據要求提供。數值適用於無刮刷器的情況 |
| 可詢問 |
| 10⁻⁷ mbar (HV) |
| 10⁻⁹ mbar (UHV) |
注意:真空適用性取決於所使用的材料。